美國派克PARKER超高純單級膜片式壓力調節(jié)器產品描述：

派克Veriflo部門959W和NPR959W（亞大氣）是超高純氣體分配系統(tǒng)中的重負荷型壓力調節(jié)器。束縛式膜片設計通過改進截止閥提高了使用安全性，降低了高壓減壓的風險。閥座被一個一體式濾網(wǎng)進一步保護以免被進口氣缸污染。這種系列對于惰性氣體和腐蝕性氣體同樣適用，同時*的壓桿設計排除了螺紋造成的污染，進一步提高了過程清潔度以及吹掃性能。它是當需要嚴格潔凈、可靠、抗漏的制造業(yè)操作時的理想選擇。

959W和NPR959W系列與流體接觸的部分由316L不銹鋼構成，具有的防腐蝕性及抗漏能力。閥體內部經過電解拋光進一步提高防腐蝕性。對于那些更高級別的防腐蝕性要求，可提供將主要部件（膜片，閥錐，壓桿）用Hastelloy C-22® 哈斯特洛伊C22材料裝飾的選擇。閥座可選擇PCTFE（聚三氟氯乙烯）或Vespel(聚酰亞胺樹脂）材質。在進口壓力高達3,500 psig的情況下，這些材料為調節(jié)器提供了的防腐蝕性和大的使用壽命。

內部（閥座）密封及金屬外部密封均采用質譜儀進行氦氣泄漏實驗，以確保其在高要求的超高純應用中有出色可靠的表現(xiàn)。

美國派克PARKER超高純單級膜片式壓力調節(jié)器特點/優(yōu)勢：
• *的壓桿使閥體不依靠螺紋噴嘴就能實現(xiàn)密封
• 高使用壽命
• 金屬-金屬、膜片-閥體密封確保了的抗漏性能
• 內部泄漏率：<2×10 -9 scc/sec He
• 外部泄漏率：<2×10 -10 scc/sec He
• 進口壓力可高達3,500 psig
• 出口壓力從-25 in-Hg到100 psig（NPR959W用于亞大氣壓力控制）
• Cv選項為0.04（std）或0.20
• 15-20 Ra（std）或10 Ra電解拋光表面光潔度

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